පොලිසිලිකන් සකස් කිරීමේ ක්රමය.

1. පැටවීම

තාප හුවමාරු මේසය මත ආලේපිත quartz crucible තබන්න, සිලිකන් අමුද්‍රව්‍ය එකතු කරන්න, ඉන්පසු උනුසුම් උපකරණ, පරිවාරක උපකරණ සහ උදුන ආවරණයක් සවි කරන්න, උදුනේ පීඩනය 0.05-0.1mbar දක්වා අඩු කිරීමට සහ රික්තය පවත්වා ගැනීමට උදුන ඉවත් කරන්න. මූලික වශයෙන් 400-600mbar පමණ වන උඳුන තුල පීඩනය තබා ගැනීම සඳහා ආරක්ෂිත වායුවක් ලෙස ආගන් හඳුන්වා දෙන්න.

2. උණුසුම

මිනිරන් හීටරයක් ​​භාවිතා කර උදුනේ සිරුර රත් කරන්න, ප්‍රථමයෙන් මිනිරන් කොටස්, පරිවාරක තට්ටුව, සිලිකන් අමුද්‍රව්‍ය යනාදිය මතුපිටට අවශෝෂණය කර ඇති තෙතමනය වාෂ්ප කර, පසුව ක්වාර්ට්ස් කෝෂයේ උෂ්ණත්වය 1200-1300 දක්වා ළඟා වීමට සෙමින් රත් කරන්න.℃. මෙම ක්රියාවලිය පැය 4-5 ක් ගතවේ.

3. දියවීම

මූලික වශයෙන් 400-600mbar පමණ වන උඳුන තුල පීඩනය තබා ගැනීම සඳහා ආරක්ෂිත වායුවක් ලෙස ආගන් හඳුන්වා දෙන්න. 1500 ක් පමණ උෂ්ණත්වයේ උෂ්ණත්වය අනුවර්තනය කිරීම සඳහා උණුසුම් කිරීමේ බලය ක්රමානුකූලව වැඩි කරන්න℃, සහ සිලිකන් අමු ද්රව්ය උණු කිරීම ආරම්භ වේ. 1500 ක් පමණ තබා ගන්න℃දියවීම අවසන් වන තුරු උණු කිරීමේ ක්රියාවලියේදී. මෙම ක්රියාවලිය පැය 20-22 පමණ ගත වේ.

4. ස්ඵටික වර්ධනය

සිලිකන් අමුද්‍රව්‍ය උණු කළ පසු, උනුසුම් බලය අඩු කර 1420-1440 දක්වා උෂ්ණත්වය පහත වැටේ.℃, සිලිකන් ද්‍රවාංකය වන. එවිට quartz crucible ක්‍රමයෙන් පහළට ගමන් කරයි, නැතහොත් පරිවාරක උපාංගය ක්‍රමයෙන් ඉහළ යයි, එවිට quartz crucible සෙමින් තාපන කලාපයෙන් පිටවී වටපිටාව සමඟ තාප හුවමාරුව සාදයි; ඒ සමගම, පතුලේ සිට දියවන උෂ්ණත්වය අඩු කිරීම සඳහා සිසිලන තහඩුව හරහා ජලය ගමන් කරන අතර, ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් මුලින්ම පතුලේ පිහිටුවා ඇත. වර්ධන ක්‍රියාවලියේදී, ස්ඵටික වර්ධනය අවසන් වන තෙක් ඝන ද්‍රව අතුරුමුහුණත සෑම විටම තිරස් තලයට සමාන්තරව පවතී. මෙම ක්රියාවලිය පැය 20-22 පමණ ගත වේ.

5. Annealing

ස්ඵටික වර්ධනය අවසන් වූ පසු, ස්ඵටිකයේ පහළ සහ ඉහළ අතර ඇති විශාල උෂ්ණත්ව අනුක්‍රමය හේතුවෙන්, සිලිකන් වේෆරය රත් කිරීමේදී සහ බැටරිය සකස් කිරීමේදී නැවත කැඩීමට පහසු වන ඉන්ගෝට් තුළ තාප ආතතිය පැවතිය හැකිය. . එබැවින්, ස්ඵටික වර්ධනය අවසන් වූ පසු, සිලිකන් ඉන්ගෝට් උෂ්ණත්වය ඒකාකාර කිරීමට සහ තාප ආතතිය අඩු කිරීමට පැය 2-4 ක් ද්රවාංකය අසල තබා ඇත.

6. සිසිලනය

සිලිකන් ඉන්ගෝට් උදුනෙහි ඇනීමෙන් පසු, තාපන බලය ක්‍රියා විරහිත කර, තාප පරිවාරක උපකරණය ඔසවන්න හෝ සිලිකන් ඉන්ගෝට් සම්පූර්ණයෙන්ම පහත් කර, උදුන තුළට ආගන් වායුව විශාල ප්‍රවාහයක් හඳුන්වා දී සිලිකන් ඉන්ගෝට් එකේ උෂ්ණත්වය ක්‍රමයෙන් අඩු කරන්න. කාමර උෂ්ණත්වය; ඒ සමගම, වායුගෝලීය පීඩනය කරා ළඟා වන තෙක් උදුනෙහි වායු පීඩනය ක්රමයෙන් ඉහළ යයි. මෙම ක්රියාවලිය පැය 10 ක් පමණ ගත වේ.